Benutzerfreundliche Bedienoberfläche mit übersichtlichem und flexiblem Arbeitsablauf

Die ePLACE-Software bildet die komplizierten Prozesse der Datenvorbereitung auf einfachste Weise in der graphischen Benutzeroberfläche ab. Gleichzeitig ist die Eingabe so flexibel, dass selbst komplexe Aufgaben im Baukastenprinzip zusammengefügt werden können. Am Ende steht dann ein Rezept, das mit einem Mausklick die gesamte Datenvorbereitung angefangen vom Einlesen des Design Layouts bis hin zur Übertragung der Belichtungsdaten auf das Belichtungstool ausführt. 

Skalierbarkeit von einfachem PC bis auf hunderte CPUs im Cluster

Die Client-Server-Architektur ermöglicht es, die rechenintensiven Aufgaben auf mehrere Computer zu verteilen. Die ePLACE-Routinen laufen auf einem einfachen PC. Für besonders umfangreiche Aufgaben lohnt es sich jedoch, die Arbeit auf mehrere Rechner zu verteilen. Die Algorithmen von ePLACE können parallel auf hunderten CPUs gleichzeitig ausgeführt werden. Der normale Benutzer wird von den vielen Details dieser Architektur durch die übersichtliche Bedienoberfläche soweit es geht abgeschirmt. 

Umfassende Visualisierung aller Daten

ePLACE verfügt über ein breites Arsenal von Visualisierungsmöglichkeiten. Dies umfasst das Anzeigen der Eingabedaten, aller Zwischenergebnisse (inklusive Simulationsergebnisse) bis hin zur endgültigen Ausstempelung am Elektronenstrahlschreiber.

Unterstützte Dateiformate

Folgende Dateiformate werden von ePLACE unterstützt:

  • OASIS
  • GDSII
  • DXF
  • CIF
  • ZBA 2x
  • ZBA 3x
  • JES (für Vistec Shaped-Beam-Anlagen)
  • OASIS.MASK

Weitere Formate können auf Anfrage bereitgestellt werden.