Visualisierung von Belichtungsdaten

Eine visuelle Überprüfung von Layoutdaten zeigt, ob eine Elektronen­strahl­belichtung die gewünschte Geometrie an der richtigen Stelle auf dem Substrat erzeugen wird. In SBvis werden dazu alle Teilsysteme der Belichtungsanlage simuliert, welche die Belichtungsdaten in Befehle zur Ansteuerung der Positioniersysteme und des Elektronenstrahls umwandeln. Als Wirkung dieser Befehle erscheinen dann die gleichen Figuren auf dem Bildschirm wie bei einer Belichtung auf dem Substrat.

Die Lage der resultierenden Figurkanten im Resist stimmt nicht exakt mit der geometrischen Lage der Kanten der belichteten Figuren überein. Sie ist abhängig von der bei der Belichtung verwendeten Energiemenge pro Figur sowie von verschiedenen Eigenschaften des Resists. In SBvis sind mathematische Modelle implementiert, welche bei vorgegebenen Resisteigenschaften aus den Belichtungsdaten und der damit beschriebenen Energieverteilung ein sehr gutes Bild für die Lage entstehender Figurkanten liefern.

SBvis bietet dem Nutzer einen umfangreichen Satz von Hilfsmitteln für eine einfache und schnelle Navigation durch verschiedenste Geometrien in unterschiedlichen Darstellungsformen. SBvis spielt eine entscheidende Rolle als Werkzeug bei der Entwicklung von Verfahren, die mit einer Vorab-Korrektur von Belichtungsdaten zu einer höheren Genauigkeit der Belichtungsergebnisse führen sollen.

Download: SBvis Product Description (PDF; englisch)

  • Zeitraum: 1999 bis heute
  • Plattform: Linux, Windows, Qt
  • Sprache: C++
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