Algorithmen und Verfahren in ePLACE

ePLACE erfüllt nicht nur die Grundaufgaben der Datenvorbereitung, sondern stellt zudem modernste Technologien bereit, die die Qualität der belichteten Strukturen erheblich verbessern. Diese Technologien sollen im Folgenden genauer beschrieben werden.

Moderner Fracture-Algorithmus

Das Maschinenformat unterstützt meist nur Rechtecke, Dreiecke und Trapeze. Deshalb muss die Belichtungsgeometrie in solche Figuren zerlegt werden. Der in ePLACE verwendete Fracture-Algorithmus liefert einen wesentlichen Beitrag zur Qualität der Belichtung.

  • Symmetrische Zerlegung mit X- und Y-Trapezen
  • Optimierung für verringerte Stempelzahl (und Schreibzeit)
  • Vermeidung von Sliver-Effekten

Proximity-Effekt-Korrektur mit PROXECCO

Bei einer Elektronenstrahlbelichtung treten verschiedenste physikalische Effekte auf. Beispielsweise ist der Strahl nie perfekt fokussiert. Elektronen werden zurück gestreut. In der dünnen Lackschicht auf dem Substrat finden chemische und thermische Prozesse statt usw. Diese und andere Effekte werden von der in ePLACE eingebetteten PROXECCO-Software durch eine lokale Anpassung der Elektronendosis ausgeglichen. PROXECCO wird lizenziert durch die Vistec Electron Beam GmbH ( http://www.vistec-semi.com ).

  • Beliebige Proximity-Funktionen möglich
  • Unterstützung von X- und Y-Trapezen sowie optimierte Zerlegung für verringerte Stempelzahl und Schreibzeit
  • Line-End-Shortening-Korrektur und Kontrastverstärkung (GIDC)

Patentiertes GIDC-Verfahren zur Kontrastverbesserung

Bei kleinsten Strukturen leidet die Belichtungsqualität und -stabilität unter schwierigen Kontrastverhältnissen. Die GIDC-Technologie (Geometrically Induced Dose Correction) erhöht den Belichtungskontrast und ermöglicht damit, noch kleinere Strukturen stabil zu belichten.

  • Weniger Defekte
  • Geringere Kantenrauhigkeit (LER/LWR)
  • Größeres Prozessfenster

Download: GIDC Flyer (PDF; englisch)

Physikalische Belichtungssimulation

Die Defektanfälligkeit einer Belichtung kann anhand physikalischer Simulationen vorhergesagt werden. Das hilft, unnötige Belichtungen zu vermeiden. Kritische Stellen können so schon vor der Belichtung identifiziert und ggf. angepasst werden. 

  • 2D und 3D Visualisierung von Simulationsergebnissen
  • Vorhersage von Figurkonturen mit LER/LWR-Simulation
  • Automatische Simulation von tausenden Messstellen per Skript mit anschaulicher Visualisierung der Ergebnisse