Gerätesteuerung

Referenzprojekte

Um einen externen Partner wie EQUIcon mit der Entwicklung eines für die eigene Firma wichtigen Software-Systems zu beauftragen, ist vor allem Vertrauen in die Fähigkeiten und die Zuverlässigkeit des Partners notwendig. Den Aufbau dieses Vertrauens möchten wir beginnen mit unseren guten und zahlreichen Referenzen. Andererseits legen unsere Auftraggeber und Partner fast immer Wert darauf, dass die erarbeiteten Lösungen nicht öffentlich erwähnt werden. Deswegen können wir hier nur einen kleinen, aber repräsentativen Ausschnitt unserer Arbeit demonstrieren.

ePLACE - Software für die Daten­vorbereitung in der Elektronenstrahl­lithographie

Was ist Elektronenstrahl­lithographie?

Mittels Elektronenstrahl­lithographie wird die Oberfläche von Wafern, Masken oder anderen flachen Substraten mit einem Elektronen­strahl strukturiert. Dies ist ein wichtiger Teilschritt beim Herstellen von Halbleiter-Chips und optischen Elementen wie Hologrammen oder mikroskopischen Linsen. 

Datenvorbereitung mit ePLACE

Zunächst muss klar sein, welche Strukturen auf dem Substrat entstehen sollen. Dieses Layout mit Belichtungs­strukturen muss dann in ein Format umgewandelt werden, welches von Elektronenstrahl­schreibern gelesen werden kann. Diese Umwandlung ist Aufgabe der Daten­vorbereitung. Die Daten­vorbereitung in ePLACE umfasst außerdem

  • das Kombinieren von Ebenen aus dem Design­layout durch boolesche Operationen und
  • geometrische Operationen auf dem Layout, wie Verschiebungen und Skalierungen.

Außerdem stellt ePLACE folgende Features bereit:

  • eine benutzerfreundliche Oberfläche
  • eine Architektur, die den Daten­vorbereitungsprozess auf hunderte CPUs verteilen kann
  • eine integrierte Proximity-Effekt-Korrektur und physikalische Simulationen
  • umfangreiche Visualisierungs­funktionen für jeden Verarbeitungs­schritt

Download: ePLACE Flyer (PDF; englisch)

PCI488-GPIB für OpenVMS

EQUIcon's GPIB-Implementierung basiert auf dem bekannten TNT488-Board von National Instruments und gewährleistet bestmögliche Kompatibilität zu originalen IEQ11- und IEZ11-Interfaces. PCI488 ist gegenwärtig das weltweit am häufigsten eingesetzte GPIB-Interface für OpenVMS.

PCI488 ist verfügbar für die neueste OpenVMS-Version und sowohl für AXP- als auch IA64-Architektur.

Download: PCI488 Spd 1.9 Product Description (PDF; englisch)

Gerätesteuerung – Equipment Control

Hightech-Geräte benötigen Hightech-Software. EQUIcon steht Ihnen als kompetenter Partner mit langjähriger Erfahrung zur Seite. Wir unterstützen Sie bei der Erarbeitung von mathematischen und naturwissenschaftlichen Modellen, komplizierter technologischer Prozesse und gewährleisten ihre Umsetzung in sichere und effiziente Software.

Kernkompetenzen:

  • Mathematische Modellierung
  • Entwicklung moderner Benutzerschnittstellen
  • Entwurf und Implementierung von Echtzeitsystemen
  • Gerätetreiberentwicklung

Software für Vistec Elektronen­strahl­­schreiber

Elektronenstrahl-Belichtungs­anlagen der Vistec Electron Beam GmbH sind Hightech-Systeme zur Mikro- und Nanostrukturierung für Anwendungen der Mikroelektronik, Mikrooptik und Mikromechanik.

Seit mehr als 20 Jahren sind wir an der Entwicklung und Wartung aller Geräte-Generationen von ZBA 10 bis zur heutigen SB-Serie beteiligt. In Zusammenarbeit mit Entwicklern der Vistec Electron Beam GmbH produzieren wir Software-Komponenten für mehrere Module dieser Anlagen.

Mit der gemeinsam entwickelten Software leisten wir einen wichtigen Beitrag zur Erfüllung der stetig wachsenden Ansprüche an Präzision, Produktivität und Zuverlässigkeit.

 

  • Zeitraum: 1992 bis heute
  • Plattform: Windows, Linux, OpenVMS, LynxOS, Solaris, RT-11
  • Sprache: vorrangig C++

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